S01800 - SEMI S18 - 可燃性シリコン化合物の環境，健康，安全に関するガイドライン Revision:SEMI S18-0312 - Superseded different from that of this

different from that of this Test Method

本書の要求条件は，UPWを使用し温度を上昇させた状態での材料および部品の試験に焦点を当てているが，本書のユーザが検討する可能性のある腐食剤，酸化剤等の化学薬品も適用対象となる。しかし，考え得るあらゆる接液する薬液に対する膨大な数の試験パラメータを定義することは，本書の範囲外である。ただし，本書は，サプライヤやエンドユーザがUPW以外の化学薬品を使用した試験，またはその他の温度条件での試験を行う可能性や，また，本書内の要求条件とは独立した独自の内部制限を設ける可能性を排除または制限することを意図したものではない。

This method is to be used by CCFL suppliers and users to evaluate quality of products as well as items under development

SEMI E5-1102 (technical revision)

Since the interstitial oxygen concentration is proportional to the absorption coefficient of the 1107 cm1 absorption band

S01800 - SEMI S18 - 可燃性シリコン化合物の環境，健康，安全に関するガイドライン Revision:SEMI S18-0312 - Superseded different from that of thisglobal Environmental Health & Safety Technical Committee20111224global Audits and Reviews Subcommittee20123www. semiviews. org www. semi. org200211 : 2011 FPDPV 1 Referenced SEMI Standards SEMI F1 Specification for Leak Integrity of High Purity Gas Piping Systems and Components SEMI F5 Guide for Gaseous Effluent Handling SEMI F6 Guide for Secondary Containment of Hazardous Gas Piping Systems SEMI S1 Safety Guideline for Equipment Safety Labels SEMI S2